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半導體行業——氫氟酸中毒危害及個人防護

2011-05-26   來源:安全文化網    熱度:   收藏   發表評論 0

  氫氟酸檔案

  氫氟酸:Hydrofluoric Acid; CAS:7664-39-3

  分子式:HF 分子量:20.2;

  俗名:氟酸、白骨酸、化骨水、洗鉆水、除銹劑、酸洗等;

  特征:具有刺激氣味及劇毒性,屬于中等強度偏弱的酸,與金屬氧化物、氫氧化鈉和碳酸鹽反應生成金屬氟鹽,具有溶解硅和硅酸鹽的性質,與三氧化硫或氯磺酸生成氟磺酸,與鹵代芳烴、醇、烯、烴類反應生成含氟有機物,溶于水生成腐蝕性很強的酸;

  用途:氫氟酸主要用于半導體行業和玻璃蝕刻劑,因為硅的化學性質不活潑,常溫下不與水、空氣、酸反應,與強堿反應。

  注意事項:氫氟酸如不當使用可能對人體的嚴重危害,其暴露途徑包括皮膚及黏膜接觸、呼吸道吸入及腸胃道攝入,皮膚若接觸到50%以上較高濃度的氫氟酸,會立刻引起疼痛、泛白、紅腫反應,1至2小時內產生水泡,6至24小時則會壞死及潰爛,若接觸到10%以下較低濃度者,則往往于6小時或更長時間才發生疼痛等癥狀,因此常被當事人忽略而太晚處理,最后造成永久性傷害,一般常見受傷害的部位為手指。另外,如呼吸道、腸胃道等其它途徑暴露,將產生咳嗽、燒灼感及呼吸困難等癥狀,或造成腹痛、惡心、吐血、腸道穿孔等癥狀。氫氟酸對人體的傷害,除了酸性腐蝕傷害外,進入人體的氟離子可能與鈣、鎂離子結合,導致血鈣過低、血鎂過低和血鉀過高,進而影響神經和心臟血管系統。

  使用氫氟酸時應避免與身體接觸,包括皮膚、眼睛及呼吸道等,預防皮膚接觸時需佩戴氟化聚乙烯(PVDF)、天然橡膠等材質之手套為佳,不要使用布質及棉質手套,并于易飛濺場合應做到全身防護,可使用連身式防護服、防化靴/工作靴,眼部應使用護目鏡或全面式面罩。若不慎遭到氫氟酸腐蝕,應盡速采用大量的清水沖洗患部至少30分鐘,直到身上看不到任何附著的固體或液體,并盡速送醫,就醫時應攜帶所接觸的化學品,以提供醫護人員及時進行正確診療。 氫氟酸分子小滲透力強,如不清洗徹底將產生蝕骨的永久性傷害,直至節肢;

  危害、防護和緊急處理

  健康危害: 對皮膚有強烈的腐蝕作用。灼傷初期皮膚潮紅、干燥。創面蒼白,壞死,繼而呈紫黑色或灰黑色。深部灼傷或處理不當時,可形成難以愈合的深潰瘍,損及骨膜和骨質。本品灼傷疼痛劇烈。眼接觸高濃度本品可引起角膜穿孔。接觸其蒸氣,可發生支氣管炎、肺炎等。

  慢性影響:眼和上呼吸道刺激癥狀,或有鼻衄,嗅覺減退。可有牙齒酸蝕癥。骨骼X線異常與工業性氟病少見。

  燃爆危險:本品不燃,劇毒,具強腐蝕性、強刺激性,可致人體灼傷。

  皮膚接觸:立即脫去污染的衣著,用大量流動清水沖洗至少15分鐘。就醫。

  眼睛接觸:立即提起眼瞼,用大量流動清水或生理鹽水徹底沖洗至少15分鐘。就醫。

  吸入: 迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難,給輸氧。如呼吸停止,立即進行人工呼吸。就醫。

  食入: 用水漱口,給飲牛奶或蛋清。就醫。

  危險特性:本品不燃,但能與大多數金屬反應,生成氫氣而引起爆炸。遇H發泡劑立即燃燒。腐蝕性極強。

  有害燃燒產物: 氟化氫。

  滅火方法: 滅火劑:霧狀水、泡沫。

  應急處理: 迅速撤離泄漏污染區人員至安全區,并進行隔離,嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿防酸堿工作服。不要直接接觸泄漏物。盡可能切斷泄漏源。小量泄漏:用砂土、干燥石灰或蘇打灰混合。也可以用大量水沖洗,洗水稀釋后放入廢水系統。大量泄漏:構筑圍堤或挖坑收容。用泵轉移至槽車或專用收集器內,回收或運至廢物處理場所處置。

  操作注意事項: 密閉操作,注意通風。操作盡可能機械化、自動化。操作人員必須經過專門培訓,嚴格遵守操作規程。建議操作人員佩戴自吸過濾式防毒面具(全面罩),穿耐酸堿服,戴橡膠耐酸堿手套。防止蒸氣泄漏到工作場所空氣中。避免與堿類、活性金屬粉末、玻璃制品接觸。搬運時要輕裝輕卸,防止包裝及容器損壞。配備泄漏應急處理設備。倒空的容器可能殘留有害物。

  儲存注意事項:儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不超過30℃,相對濕度不超過85%。保持容器密封。應與堿類、活性金屬粉末、玻璃制品分開存放,切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備和合適的收容材料。監測方法: 離子選擇性電極法;氟試劑-鑭鹽比色法

  工程控制: 密閉操作,注意通風。盡可能機械化、自動化。提供安全淋浴和洗眼設備。

  呼吸系統防護:可能接觸其煙霧時,佩戴過濾式防毒面具(全面罩)或空氣呼吸器SCBA。緊急事態搶救或撤離時,建議佩戴氧氣呼吸器。

  眼臉防護:呼吸系統防護中已作防護,或配防飛濺防護眼鏡或眼罩,防飛濺全面具。

  身體防護:穿耐酸堿防護服、防護圍裙、袖套等。

  手足部防護: 戴橡膠耐酸堿手套/防化靴。

  其他防護:工作現場禁止吸煙、進食和飲水。工作完畢,淋浴更衣。單獨存放被毒物污染的衣服,洗后備用。保持良好的衛生習慣。

  主要用途: 用作分析試劑、高純氟化物的制備、玻璃蝕刻及電鍍表面處理等。

  禁配物: 強堿、活性金屬粉末、玻璃制品。

  廢棄處置方法:用過量石灰水中和,析出的沉淀填埋處理或回收利用,上清液稀釋后排入廢水系統。

  包裝方法:裝入鉛桶或特殊塑料容器內,再裝入木箱中。空隙用不燃材料填充妥實;裝入塑料瓶,特種電木、橡膠或鉛容器,嚴封后再裝入堅固木箱中。木箱內用不燃材料襯墊,每箱凈重不超過20公斤,3~5公斤包裝每箱限裝4 瓶。


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