1.范圍 本標準規定了工業三氯氫硅產品的要求、試驗方法、檢驗規則以及標志、標簽、包裝、運輸、貯存和安全。 本標準適用于主要作為多晶硅和硅烷偶聯劑等原料的工業三氯氫硅。
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