1．篩硅粉，硅化鎂及硅塊的粉碎和加料，必須戴防塵口罩進行。
2．硅化鎂與酸堿類應嚴格隔離，不準靠近。
3．多晶硅生產反應爐凈化系統及分解爐要保證正常生產，室內嚴禁吸煙。
4．操作硫酸、硝酸、鹽酸、氫氟酸必須穿耐酸鞋，戴耐酸手套和穿防護服以及帶口罩。
5．操作液氨時，必須配戴防毒面具。
6．多晶硅，單晶硅設備及管道，在開爐前及生產中應嚴格進行檢查和維修，保證其密閉性，不得有泄漏現象。
7．多晶硅生產中，嚴防硅烷氣體進入空氣。在停爐時，分解爐內的硅烷氣體必須充分分解15分鐘以上，再降壓停爐。在保證分解爐內無硅烷后，再打開爐門。
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