1. 濕度及溫度會影響對準工作,在黃光區應注意溫度及濕度,并應減少對準機附近的人,以減少濕、溫度的變化。 2. 上妥光阻尚未曝光完成之芯片,不得攜出黃光區以免感光。 3. 己上妥光阻,而在等待對準曝光之芯片,應放置于不透明之藍黑色晶盒之內, 盒蓋必須蓋妥。 4. 光罩使用時應持取邊緣,不得觸及光罩面,任何狀況之下,光罩鉻膜不得與他物接觸,以防刮傷,光罩之落塵可以氮氣槍吹之。 5. 曝光時,應避免用眼睛直視曝光機汞燈。 四、鑷子使用須知 1. 進入實驗室后,應先戴上手套后,再取鑷子,以免沾污。 2. 唯有使用干凈的鑷子,才可持取芯片,鑷子一旦掉在地上或被手觸碰,或因其它原因而遭污染,必須拿去清洗,方可再使用。 3. 鑷子使用后,應放于各站規定處,不可任意放置,如有特殊制程用鑷子,使用后應自行保管,不可和實驗室內各站之鑷子混合使用。 4. 持鑷子應采”握筆式”姿勢挾取芯片。 5. 挾取芯片時,順序應由后向前挾取,放回芯片時,則由前向后放回,以免刮傷芯片表面。 6. 挾取芯片時,”短邊” (鋸狀頭)置于芯片正面,”長邊” (平頭)置于芯片背面,挾芯片空白部分,不可傷及芯片。 7. 嚴禁將鑷子接觸酸槽或D.I Water水槽中。 8. 鑷子僅可做為挾取芯片用,不準做其它用途。
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