對欲回收利用的六氟化硫氣體，需進行凈化處理，達到新氣標準后方可使用。對排放廢氣，事前需作凈化處理（如采用堿吸收的方法），達到國家環保規定標準后，方可排放。
設備解體前，應對設備六氟化硫氣體進行必要的分析測定，根據有毒氣體含量，采取相應的安全防護措施。設備解體工作方案，應包括安全防護措施。
設備解體前，用回收凈化裝置凈化六氟化硫運行氣，并對設備抽真空，用氮氣沖洗3次后，方可進行設備解體檢修。
解體時，檢修人員應穿戴防護服及防毒面具。設備封蓋打開后，應暫時撤離現場30min。
在取出吸附劑，清洗金屬和絕緣零部件時，檢修人員應穿戴全套的安全防護用品，并用吸塵器和毛刷清除粉末。
將清出的吸附劑、金屬粉末等廢物放入酸或堿溶液中處理至中性后，進行深埋處理，深度應大于0.8m，地點選在野外邊遠地區、下水處。
六氟化硫電氣設備解體檢修凈化車間要密閉、低塵降，并保證有良好的地溝機力引風排氣設施，其換氣量應保證在15min內全車間換氣一次。排出氣口設在底部。
工作結束后使用過的防護用具應清洗干凈，檢修人員要洗澡。
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